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刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 PN 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体激活成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物四氟化硅而被去除。
化学公式: CF 4 +SIO 2 =SIF 4 +CO 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净,张掖太阳能组件, PN 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
电池片各工序影响因素及异常情况
电池片各工艺流程危害要素及异常现象
4.NaOH产生金字塔式绒面。NaOH浓度值越高,金字塔式容积越小,反映前期,金字塔式成核相对密度类似没受NaOH浓度值危害,碱水溶液的腐蚀随NaOH浓度值转变比较显著,浓度值高的NaOH水溶液与硅体现的速率加速,再反映过段时间后,金字塔式容积更大。NaOH浓度值超出必须界线时,各向异性系数缩小,绒面会愈来愈差,类似打磨抛光。可控性水平:与IPA相近,线性度不高。
5.Na2SiO3SI和NaOH反映生产制造的Na2SiO3和添加的Na2SiO3能具有缓冲剂的功效,使反映不会很强烈,变的轻缓。Na2SiO3使反映拥有大量的起始点,生长发育出的金字塔式更匀称,更小一点儿Na2SiO3多的那时候要立即的排出去,Na2SiO3传热性差,会危害反映,水溶液的黏稠度也提升,非常容易产生水流、花蓝印和表层黑斑。可控性水平:没办法操纵。4酸洗钝化HCL除去硅片表层的金属材料残渣硫酸具备酸和络合剂的双向功效,硫酸盐能与多种多样金属材料正离子产生可溶解与水的络合物。6酸洗钝化HF除去硅片表层空气氧化层,SiO26HF=H2[siF6]2H2O。
基准点1.减薄量界定:硅片制绒前后左右的前后左右净重差。操纵范畴多晶硅125,硅片薄厚在200±25μm左右,减薄量在0.5±0.2g;硅片薄厚在200±25μm左右,减薄量在0.4±0.2g。多晶硅156,首篮减薄量在0.7±0.2g;之后减薄量在0.6±0.2g。2.绒面分辨规范:成核相对密度高,尺寸适度,匀称。
操纵范畴:多晶硅:金字塔式规格3~10um。3.外型无豁口,黑斑,回收抵债太阳能组件,裂痕,激光切割线,刮痕,凹痕,有没有白斑病,赃污。
振鑫焱光伏科技有限责任公司长期购置:天价回收硅片,电池片,初中级光伏电池,银浆布,单晶硅,光伏电池,太阳能电池板,太阳能组件,太阳能光伏板,顾客撤离,退级,库存量,El,欠佳检测,二手,旧工程项目,拆装,道路路灯,拆卸发电厂,拆装,人造板,聚酰薄膜,无界限结晶硅,光伏电池,单晶硅,试验板,负债还款,返修,太阳能发电控制模块收购等。电池片生产流程一、制绒a.目地在硅单晶的表面产生坑凹状表面,降低电池片的反射的自然光,提升二次反射的总面积。一般状况下,用碱解决是以便获得金字塔状磨砂皮;用酸处理是以便获得虫孔状磨砂皮。无论是哪样磨砂皮,都能够提升硅单晶的陷光功效。b.步骤1.基本标准下,回收单晶硅太阳能组件,硅与单纯性的HF、HNO3(硅表面会被钝化处理,二氧化硅与HNO3不反映)觉得不是反映的。但在二种混和酸的管理体系中,硅则能够与水溶液开展不断的反映。硅的氧化氰化钠/亚硝酸(HNO2)将硅氧化成二氧化硅(关键是亚硝酸将硅氧化)Si 4HNO3=SiO2 4NO2 2H2O(慢反映3Si 4HNO3=3Si
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